進口EBARA荏原干式真空泵ESA70W（-D） 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

原裝EBARA荏原ESA25-D干式真空泵 干式真空泵，可排出氫氣等輕質氣體，可對大腔室進行高速排氣 用于高速排氣的大型真空室 有機溶劑兼容選項 氫氣等輕質氣體的排放 耐腐蝕材料選項 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 研究設備的理想選擇 特定化學物質的吸附

進口供應EBARA荏原原裝干式真空泵ESA15-D 干式真空泵，可排出氫氣等輕質氣體，可對大腔室進行高速排氣 用于高速排氣的大型真空室 有機溶劑兼容選項 氫氣等輕質氣體的排放 耐腐蝕材料選項 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL 研究設備的理想選擇 特定化學物質的吸附

日本EBARA荏原原裝干式真空泵EST800WN 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

進口供應EBARA荏原EST500WN干式真空泵 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

日本供應EBARA荏原EST300WN干式真空泵 兼容高溫控制 抽速大 大流量排氣 采用耐腐蝕材料標準 耐腐蝕性增強選項 能夠在重負荷下進行處理 在不同頻率下具有相同的性能 （50/60 Hz） 油 提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL