原裝HORIBA堀場排氣壓力控制器EC-5104 這是一種排氣壓力控制器，可將腔室的內部壓力控制為您選擇的恒定值。高分辨率步進電機結構的蝶閥提供高速響應和高分辨率性能。

日本原裝HORIBA堀場PV-1000壓電閥 一種高速響應閥，用于使用來自外部設備的控制信號來控制氣體流量或壓力。采用金屬膜片和金屬O型圈。與氣體接觸的部件采用全金屬結構，兼容超潔凈。不僅可以控制氣體，還可以控制液體。

北崎HORIBA堀場數(shù)顯自動壓力調節(jié)器UR-Z700 這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應壓電閥。 采用全金屬結構（氣體接觸部分）和無死體積結構，可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用

HORIBA堀場晶圓背面壓力控制系統(tǒng)GR-300 GR-300系列對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制，還可以進行流量測量。

HORIBA堀場GR-511F晶圓背面壓力控制系統(tǒng) GR-511F 對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制，還可以進行流量測量。

日本HORIBA堀場液體物料汽化系統(tǒng)MV-2000 這是一種汽化（氣化）純水和液體材料的汽化系統(tǒng)。采用龍卷風流方式的高效汽化，實現(xiàn)低溫下的穩(wěn)定汽化。該模型非常適合作為“液體材料：半導體工藝中使用的高k材料等”的穩(wěn)定蒸發(fā)系統(tǒng)。通過設置用于載氣控制的質量流量控制器和用于測量液體物料流量的質量流量計，完成高效的汽化系統(tǒng)。