轉(zhuǎn)子設(shè)計和怠速功能，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應(yīng)用，從負(fù)載鎖和 SEM 等輕負(fù)載應(yīng)用到腐蝕性工藝。

特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對腐蝕性氣體(標(biāo)準(zhǔn)采用耐腐蝕材料)
對應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等

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